Oberflächenanalytik
Untersuchungen der Eigenschaften von Oberflächen und dünnen Schichten wie Morphologie, chemischer Zusammensetzung, Kristallstruktur und andere Eigenschaften durch folgende Methoden:
Rasterelektronenmikroskop (REM)
Energie Dispersive Analysis of X-Ray (EDAX)
Transmissionselektronenmikroskop (TEM)
Röntgenfluoreszenz-Spektrometer (RFA)
Röntgendiffraktometer (XRD)
Fourier-Transform-Infrarotspektrometer (FT-IR)
Massenspektrometer
Digitale Lichtmikroskopie
Batterieerprobungs- und Simulationseinrichtung
Piezo Hochdrucksprüheinrichtung für Flüssigsilan
Rheometer zur Bestimmung der Viskosität
Sputteranlage
Glovebox
Hochtemperaturofen
Vier-Spitzen-Messplatz
